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中山大学物理学院氦质谱检漏仪及RF提拉炉采购项目

基本信息

项目编号 中大招(货)[2019]471号
项目名称 中山大学物理学院氦质谱检漏仪及RF提拉炉采购项目
项目类型 货物采购 申购主题 RF提拉炉,氦检漏仪 采购单位 中山大学
项目预算 *** 采购开始时间 2019-11-12 11:51  采购结束时间 2019-11-19 09:00  是否送货
期望收货时间 合同签订后90天交货 经办人 郑老师 经办人电话 020-84115085-807
送货地址 南校园物理楼420
备注 1、国内供货请报含税人民币价;境外供货(进口)请报免税人民币价或外币价,报免税人民币价的公司必须有境外人民币收款账户。 2、进口货物中如有国内供货部分,供应商在报价时应分别报价,境外供货部分、国内供货部分的币种选择见第1条,并分别签订进口货物购销协议和国内采购合同。 3、成交供应商必须提供设备安装,包括仪器上楼安装搬运和培训服务,受训人员不少于2人,培训时长不少于1天 4、本项目学校不收取任何费用。

设备列表

采购设备 数量 参考品牌 详细响应要求
RF提拉炉 1台 详情请进入系统查看
"RF提拉炉"技术要求
序号 技术要求内容 评分等级 是否需要附件说明
1 炉体直径不小于DN400mm,高度不小于380mm,带双胶圈密封的顶盖,顶盖带有气镇开启机构,整体容积不小于45L 重要
2 带有坚固的支架,并配有水路分配装置和水流传感器。 重要
3 配有加热无污染的样品台,样品台带有提拉装置并可以旋转,并采用石英灯加热,加热温度800°。 非常重要
4 配置有2台不小于500瓦适配电源。 重要
5 带有准备腔体和磁力传送机构。 非常重要
6 带有DN63CF观察窗2个并带有挡板。带有DN200CF、DN160CF、DN100CF、DN63CF、DN40CF、DN16CF等各类法兰不少于15个。 重要
7 带有不少于2路进气,不少于1路进口针阀和不少于1路质量流量计。 重要
8 提拉均匀性:在4英寸直径的样片上均匀性好于+/- 2.5%。 非常重要
9 提拉行程:不低于2英寸 重要
10 炉腔内的部件需要符合超高真空密封标准(漏率不高于5*10-9mbar.l/s),当使用抽速不低于600L/S的分子泵系统进行抽气时,系统可以实现气压值不高于4*10-8Torr真空度 非常重要
11 配有提拉阴极不少于2支,阴极可以在线调节角度且两支阴极可以聚焦到一点。当炉内处于真空状态时,调节阴极角度,真空保持不高于4*10-8Torr。 非常重要
12 阴极带有屏蔽装置,避免提拉时对样品产生污染。屏蔽装置的开关可以通过程序自动控制。 重要
13 炉内内置磁场排布为模块化,有效磁场排布方式不少于5种。 非常重要
14 加热温度均匀性:+/-2% 重要
15 配有提拉基片厚度监控仪,监控仪可存储的工艺不少于99个,测量周期0.2~2秒可调,厚度分辨率不低于+/-0.5埃米。 非常重要
16 设备采用整体机柜的形式,最大限度节约占用空间,外型不大于(长宽高)2000*800*1800mm 重要
17 带有中文操作软件 重要
18 留有kf标准真空接口(KF25/KF40/KF16),和电学真空接口(4pin以上),手动高真空挡板阀,保证相连后氦检漏仪和RF提拉炉的工作室真空率在4*10-8Torr以上(气压低于4*10-8Torr),抽速不低于600L/S 重要
19 带有专门进样室一个,配有真空泵,抽速不低于2L/S,进样室真空度不高于1Pa 重要


采购设备 数量 参考品牌 详细响应要求
氦检漏仪 1台 详情请进入系统查看
"氦检漏仪"技术要求
序号 技术要求内容 评分等级 是否需要附件说明
1 最小检测能力 ≤5×10-12 mbar 重要
2 启动时间:小于3min。 非常重要
3 配有一个分子泵,可以实现精检模式对He的抽速不小于600L/S 非常重要
4 能识别不少于20种气体,并能检测出百分含量。 非常重要
5 配有前级泵,抽速不小于6L/S,重量不高于35Kg. 重要
6 配有自控压力倾泄装置 重要
7 外置磁力模块组磁场不低于4000高斯,能形成不少于100个点位的磁矩阵。 非常重要
8 系统需要带有离线模拟功能。 重要
9 检测系统软件1套,软件需要有氦检漏界面;能够显示极限真空度及设定真空度。当设定压力后,系统能够自动维持设定压力稳定。 非常重要
10 系统需包含分析腔体1个,腔体带有DN160CF接口不少于1个、DN40CF接口不少于2个。 重要
11 包含循环水冷机总功率不低于2KW,保证系统可以正常运转 重要
12 留有kf标准真空接口(KF25/KF40/KF16),和电学真空接口(4pin以上),手动高真空挡板阀,保证相连后氦检漏仪和RF提拉炉的工作室真空率在4*10-8Torr以上(气压低于4*10-8Torr),抽速不低于600L/S 非常重要
13 配有超高真空压力控制系统启动压力不低于2500Pa 重要



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