| 采购类型 | |||
| 项目编号 | 中大招（货）[2019]471号 | ||
| 项目名称 | 中山大学物理学院氦质谱检漏仪及RF提拉炉采购项目 | ||
| 申购主题 | RF提拉炉,氦检漏仪 | ||
| 项目类型 | 货物采购 | 项目预算 | *** |
| 最高限价（元） | |||
| 采购开始时间 | 2019-11-12 11:51 | 采购结束时间 | 2019-11-19 09:00 |
| 采购单位 | 中山大学 | ||
| 经办人 | 郑老师 | 经办人电话 | 020-84115085-807 |
| 期望收货时间 | 合同签订后90天交货 | ||
| 是否送货 | 是 | 送货地址 | 南校园物理楼420 |
| 电子签章 | 无需使用 | ||
| 备注 | 1、国内供货请报含税人民币价；境外供货（进口）请报免税人民币价或外币价，报免税人民币价的公司必须有境外人民币收款账户。 2、进口货物中如有国内供货部分，供应商在报价时应分别报价，境外供货部分、国内供货部分的币种选择见第1条，并分别签订进口货物购销协议和国内采购合同。 3、成交供应商必须提供设备安装，包括仪器上楼安装搬运和培训服务，受训人员不少于2人，培训时长不少于1天 4、本项目学校不收取任何费用。 | ||
| 1采购设备 | RF提拉炉 |
| 数量 | 1台 |
| 参考品牌 |
| 序号 | 技术要求内容 | 评分等级 | 是否需要附件说明 |
|---|---|---|---|
| 1 | 炉体直径不小于DN400mm，高度不小于380mm，带双胶圈密封的顶盖，顶盖带有气镇开启机构，整体容积不小于45L | 重要 | 否 |
| 2 | 带有坚固的支架，并配有水路分配装置和水流传感器。 | 重要 | 否 |
| 3 | 配有加热无污染的样品台，样品台带有提拉装置并可以旋转，并采用石英灯加热，加热温度800°。 | 非常重要 | 否 |
| 4 | 配置有2台不小于500瓦适配电源。 | 重要 | 否 |
| 5 | 带有准备腔体和磁力传送机构。 | 非常重要 | 否 |
| 6 | 带有DN63CF观察窗2个并带有挡板。带有DN200CF、DN160CF、DN100CF、DN63CF、DN40CF、DN16CF等各类法兰不少于15个。 | 重要 | 否 |
| 7 | 带有不少于2路进气，不少于1路进口针阀和不少于1路质量流量计。 | 重要 | 否 |
| 8 | 提拉均匀性：在4英寸直径的样片上均匀性好于+/- 2.5%。 | 非常重要 | 否 |
| 9 | 提拉行程：不低于2英寸 | 重要 | 否 |
| 10 | 炉腔内的部件需要符合超高真空密封标准（漏率不高于5*10-9mbar.l/s），当使用抽速不低于600L/S的分子泵系统进行抽气时，系统可以实现气压值不高于4*10-8Torr真空度 | 非常重要 | 是 |
| 11 | 配有提拉阴极不少于2支，阴极可以在线调节角度且两支阴极可以聚焦到一点。当炉内处于真空状态时，调节阴极角度，真空保持不高于4*10-8Torr。 | 非常重要 | 否 |
| 12 | 阴极带有屏蔽装置，避免提拉时对样品产生污染。屏蔽装置的开关可以通过程序自动控制。 | 重要 | 否 |
| 13 | 炉内内置磁场排布为模块化，有效磁场排布方式不少于5种。 | 非常重要 | 是 |
| 14 | 加热温度均匀性：+/-2% | 重要 | 否 |
| 15 | 配有提拉基片厚度监控仪，监控仪可存储的工艺不少于99个，测量周期0.2~2秒可调，厚度分辨率不低于+/-0.5埃米。 | 非常重要 | 否 |
| 16 | 设备采用整体机柜的形式，最大限度节约占用空间，外型不大于（长宽高）2000*800*1800mm | 重要 | 否 |
| 17 | 带有中文操作软件 | 重要 | 否 |
| 18 | 留有kf标准真空接口（KF25/KF40/KF16），和电学真空接口（4pin以上），手动高真空挡板阀，保证相连后氦检漏仪和RF提拉炉的工作室真空率在4*10-8Torr以上（气压低于4*10-8Torr），抽速不低于600L/S | 重要 | 否 |
| 19 | 带有专门进样室一个，配有真空泵，抽速不低于2L/S，进样室真空度不高于1Pa | 重要 | 否 |
| 2采购设备 | 氦检漏仪 |
| 数量 | 1台 |
| 参考品牌 |
| 序号 | 技术要求内容 | 评分等级 | 是否需要附件说明 |
|---|---|---|---|
| 1 | 最小检测能力 ≤5×10-12 mbar | 重要 | 否 |
| 2 | 启动时间：小于3min。 | 非常重要 | 否 |
| 3 | 配有一个分子泵，可以实现精检模式对He的抽速不小于600L/S | 非常重要 | 是 |
| 4 | 能识别不少于20种气体，并能检测出百分含量。 | 非常重要 | 否 |
| 5 | 配有前级泵，抽速不小于6L/S，重量不高于35Kg. | 重要 | 否 |
| 6 | 配有自控压力倾泄装置 | 重要 | 否 |
| 7 | 外置磁力模块组磁场不低于4000高斯，能形成不少于100个点位的磁矩阵。 | 非常重要 | 否 |
| 8 | 系统需要带有离线模拟功能。 | 重要 | 否 |
| 9 | 检测系统软件1套，软件需要有氦检漏界面；能够显示极限真空度及设定真空度。当设定压力后，系统能够自动维持设定压力稳定。 | 非常重要 | 否 |
| 10 | 系统需包含分析腔体1个，腔体带有DN160CF接口不少于1个、DN40CF接口不少于2个。 | 重要 | 否 |
| 11 | 包含循环水冷机总功率不低于2KW，保证系统可以正常运转 | 重要 | 是 |
| 12 | 留有kf标准真空接口（KF25/KF40/KF16），和电学真空接口（4pin以上），手动高真空挡板阀，保证相连后氦检漏仪和RF提拉炉的工作室真空率在4*10-8Torr以上（气压低于4*10-8Torr），抽速不低于600L/S | 非常重要 | 否 |
| 13 | 配有超高真空压力控制系统启动压力不低于2500Pa | 重要 | 否 |
| 序号 | 要求名称 | 条件类型 | 要求内容 | 是否需要附件说明 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | 合同履约 | 评分性参数 |
该项目必须严格按学校合同范本执行；下载地址：http://www.wisdombidding.com:8089/attachment/template/ZSU148/htmb.zip |
否 |
| 2 | 产品销售渠道（要求上传“制造厂商出具的授权函”） | 评分性参数 |
厂家（生产商）直接销售（出具厂家声明格式自拟） 厂家（生产商）长期授权销售（授权书中连续有效期不少于一年） 其他授权销售方式 |
是 |
| 3 | 免费保修年限 | 评分性参数 |
5年及以上 4年 3年 2年 |
是 |
| 序号 | 要求名称 | 要求内容 | 是否需要附件说明 |
|---|---|---|---|
| 1 | 第1条资质参数 | {"paramContentList":[{"key":"填写并按要求上传“廉洁承诺书”（需签字并盖公盖章）","value":0,"choose":false}]} | 是 |
| 2 | 第2条资质参数 | {"paramContentList":[{"key":"填写并要求上传“法定代表人授权书”（需按授权书要求签字并加盖公章）","value":0,"choose":false}]} | 是 |
| 3 | 第3条资质参数 | {"paramContentList":[{"key":"上传营业执照(副本原件扫描件)","value":0,"choose":false}]} | 是 |
