| 序号 |
技术要求内容 |
评分等级 |
是否需要附件说明 |
| 1 |
尺寸：上台面直径≤100mm，下底板直径≤150mm
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非常重要
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是 |
| 2 |
台面平整度：上下台面定位面高低起伏量不超过20μM
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重要
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是 |
| 3 |
行程：XY轴±15mm，Z轴±6mm，θXθY轴±10°，θZ轴±20°
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重要
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是 |
| 4 |
最小位移：XY轴≤1.25um，Z轴≤0.75um，θXθYθZ轴≤15urad
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重要
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是 |
| 5 |
重复精度：XY轴≤±0.75um，Z轴≤±0.5um，θXθYθZ轴≤±3urad
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非常重要
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是 |
| 6 |
负载能力：水平5kg，任意方向2.5kg
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重要
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是 |
| 7 |
仿真功能：至少满足：12种欧拉角顺序切换、支持左右手坐标系、各轴行程范围、不同坐标系、用户工件导入等
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非常重要
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是 |
| 8 |
实时镜像监测系统，实时显示位移台位置及姿态，方便位移台在黑暗等其他不便于观察的环境下使用
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重要
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是 |
| 9 |
控制器参数：AC220V，1.5A，通讯接口：外置：以太网、内置拓展：RS232/RS485/以太网/U盘/CAN/RTEX/EtherCAT
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重要
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是 |
| 10 |
配置清单： 每套包含1、六轴并联机器人1台2、控制器1台
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重要
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否 |
| 11 |
保修范围：整机及配件的维修或更换，整机零部件包含电动推杆、虎克铰、线缆、控制器。售后服务要求：质保期内收到用户售后反馈，2小时内响应，并安排对应工程师一对一线上排查，72小时内安排工程师上门解决。培训要求：原厂工程师上门驻场培训不少于3天，包含不限于对产品原理、结构，软件等方面讲解，使用户熟悉产品的使用和操作
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重要
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是 |
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