采购类型 | |||
项目编号 | 中大招(货)[2022]263号 | ||
项目名称 | 中山大学材料学院椭圆偏光仪采购项目 | ||
申购主题 | 椭圆偏光仪 | ||
项目类型 | 货物采购 | 项目预算 | *** |
最高限价(元) | |||
采购开始时间 | 2022-07-07 18:24 | 采购结束时间 | 2022-07-19 09:00 |
采购单位 | 中山大学 | ||
经办人 | 黎老师 | 经办人电话 | 020-84115080 |
期望收货时间 | 合同签订后30天交货 | ||
是否送货 | 是 | 送货地址 | 深圳市光明区新湖街道公常路66号中山大学工学园 |
电子签章 | 本项目需要使用CA签字 CA操作手册下载 | ||
备注 | 1、国内供货请报含税人民币价;境外供货(进口)请报免税人民币价或外币价,报免税人民币价的公司必须有境外人民币收款账户。 2、进口货物中如有国内供货部分,供应商在报价时应分别报价,境外供货部分、国内供货部分的币种选择见第1条,并分别签订进口货物购销协议和国内采购合同。 3、本项目学校不收取任何费用。 4、技术参数中标注有“★”号的条款必须实质性响应,负偏离(不满足要求)将导致报价无效。 |
1采购设备 | 椭圆偏光仪 |
数量 | 1台 |
参考品牌 |
序号 | 技术要求内容 | 评分等级 | 是否需要附件说明 |
---|---|---|---|
1 | 1、主机参数: 1、功能 1.1可在反射、透射、散射模式下对样品进行光谱测量;可测量得到样品的透射率、反射率、散射率;可测量得到样品的椭偏角(ψ,Δ); | 非常重要 | 否 |
2 | 1.2可测量得到样品的Mueller矩阵全部16个元素; | 重要 | 否 |
3 | ★1.3可检测单层和多层纳米薄膜的层构参数(如,厚度)和物理参数(如折射率n、消光系数k,或介电函数ε1和ε2); (附件材料:多层纳米薄膜结构测量案例说明) | 非常重要 | 是 |
4 | 1.4 可检测块状材料的物理参数(如折射率n、消光系数k,或介电函数ε1和ε2);各向异性样品的性质,包括波片相位延迟差和快轴方位角、旋光片的旋光角等。 | 重要 | 否 |
5 | 2、技术参数 ★2.1 光谱范围:245-1000 nm;(附件材料:光谱图) | 非常重要 | 是 |
6 | 2.2 波长间隔:不大于1 nm; | 重要 | 否 |
7 | 2.3 光源:氘灯和卤钨灯,寿命大于2000小时; | 重要 | 否 |
8 | 2.4 入射角度:角度范围为45-90°,精度 0.02°; | 重要 | 否 |
9 | 2.5 测量重复性:针对Si上的100nm的SiO2膜厚的标片,测量20次,膜厚重复性≤0.01 nm,折射率重复性≤0.0005; | 非常重要 | 否 |
10 | 2.6 准确度:90°透射模式下测量空气时: (1)椭偏角ψ=45°±0.05°,Δ=±0.1°; (2)Mueller矩阵对角元素m = 1±0.005,非对角元素m = ±0.005; | 非常重要 | 否 |
11 | 2.7 测量时间:全光谱测量Mueller和椭偏角(ψ、Δ)典型测量时间10秒; | 重要 | 否 |
12 | 2.8 检测原理:双补偿器旋转; | 重要 | 否 |
13 | 2.9 样件台支持对样品进行高低和俯仰对准; | 重要 | 否 |
14 | 2.10 光源调节方式:多挡位滤轮自适应调节,根据样件反射信息自动变档到最优探测光强; | 非常重要 | 否 |
15 | 2.11 偏振测量范围:Psi:0-90°,Delta:-90-270°,360°无死角; | 重要 | 否 |
16 | 3、软件及其功能:配备主机配套软件: (1)可输出椭偏角和,Mueller矩阵元素,NCS,介电函数,折射率和消光系数; (2)能够拟合多层结构(单层膜、复合膜、超晶格等); (3)易于使用、用户可扩展的材料数据库; (4)丰富的材料光学常数列表,200种以上; (5)丰富的材料色散模型:包括Cauchy, Sellmeier,Lorentz,Drude,F-B,Tauc-Lorentz等多种材料色散模型; (6)EMA有效介质近似; (7)可处理各向异性样品。 | 重要 | 否 |
17 | 配置清单: 1、主机,1套,包括角度结构、光源、光学器件、样品对准等组件; 2、计算机,1套,CPU为i7,8G内存,512G硬盘,21吋液晶显示屏,Windows 10 x64位操作系统; 3、控制箱,1套,用于仪器的运动控制等; 4、配套软件,1套,用于仪器的设置、操作、测量,数据分析等; 5、晶圆样品,1个,晶体硅上镀氧化硅(SiO2/Si),直径4”,膜厚100nm。 | 重要 | 否 |
18 | 保修范围: 1、保修期内的保修内容与范围:(1)在保修期内出现属于合同设备原因的故障,卖方负责无偿修理及免费提供备件(除耗材外)。(2)保修期内若合同设备出现确实属于买方原因造成的非正常损坏(即:人为错误而导致的损坏),则由买方承担受损零件的全部费用,卖方负责修理。 2、超过保修期后的保修内容与范围:保修期外的涉及到零部件出现故障,如经权威部门鉴定属于寿命异常问题,厂方应无偿负责更换;除此之外,厂家需按不高于成本价加必要的人工等其他费用提供优惠报价。提供软件永久免费升级以及数据建模终身无偿支持服务。 | 重要 | 否 |
19 | 售后服务要求: 1、在保修期内,当设备发生故障、买方不能自行解决时,卖方在接到买方的通知后:(1)在2小时内响应;(2)72小时内到达现场,并尽快予以解决;(3)一般故障1天内解决,重大故障3天内解决。 2、超过保修期后,如合同设备发生故障,买方要求卖方对设备进行检查、维修时,卖方在接到买方的通知后:(1)在2小时内响应;(2)在72小时内到达现场,并尽快予以解决;(3)期间所发生的费用由买方承担。 | 重要 | 否 |
20 | 培训要求: 1、卖方负责对仪器进行安装调试,并对仪器操作人员进行技术培训。 2、培训人员:不少于2人; 3、培训时间:不少于4小时; 4、培训内容:仪器的测量原理、基本性能和用途、仪器操作、仪器维护等。 | 重要 | 否 |
序号 | 要求名称 | 条件类型 | 要求内容 | 是否需要附件说明 |
---|---|---|---|---|
1 | 产品销售渠道(要求上传“制造厂商出具的授权函”) | 评分性参数 |
厂家(生产商)直接销售(出具厂家声明格式自拟) 厂家(生产商)长期授权销售(授权书中连续有效期不少于一年) 其他授权销售方式 |
是 |
2 | 合同履约及发票要求 | 评分性参数 |
该项目必须严格按学校合同范本执行 下载地址:http://www.wisdombidding.com:8089/attachment/template/ZSU148/htmb.zip。注意: (1)合同模板中付款方式适用分期结算/付款条款 其它付款方式选项不得选用;(2)本项目签署《中山大学国内采购合同》的需开具增值税专用发票、如无法开具、需在签署合同时提供合理说明、否则将可能会影响合同签署。 |
是 |
3 | 免费保修年限 | 评分性参数 |
5年及以上 4年 3年 2年 |
是 |
序号 | 要求名称 | 要求内容 | 是否需要附件说明 |
---|---|---|---|
1 | 第3条资质参数 | {"paramContentList":[{"key":"填写并按要求上传“供应商资格声明”(需签字并盖公章)","value":0,"choose":false}]} | 是 |
2 | 第1条资质参数 | {"paramContentList":[{"key":"填写并按要求上传“廉洁承诺书”(需签字并盖公章)","value":0,"choose":false}]} | 是 |
3 | 第4条资质参数 | {"paramContentList":[{"key":"上传营业执照(副本原件扫描件)","value":0,"choose":false}]} | 是 |
4 | 第2条资质参数 | {"paramContentList":[{"key":"填写并要求上传“法定代表人授权书”(需按授权书要求签字并加盖公章)","value":0,"choose":false}]} | 是 |