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中山大学生物医学工程学院三靶磁控溅射机采购项目-大额快速采购

基本信息

项目编号 中大招(货)[2018]628号
项目名称 中山大学生物医学工程学院三靶磁控溅射机采购项目
项目类型 货物采购 申购主题 三靶磁控溅射机 采购单位 中山大学
项目预算 *** 采购开始时间 2018-11-29 19:32  采购结束时间 2018-12-10 09:00  是否送货
期望收货时间 合同签订后60天交货 经办人 李老师 经办人电话 020-84115084-811
送货地址 广州市番禺区大学城外环东路中山大学工学院C303
备注 1、国内供货请报含税人民币价;境外供货(进口)请报免税人民币价或外币价,报免税人民币价的公司必须有境外人民币收款账户。2、进口货物中如有国内供货部分,供应商在报价时应分别报价,境外供货部分、国内供货部分的币种选择见第1条,并分别签订进口货物购销协议和国内采购合同。

设备列表

采购设备 数量 参考品牌 详细响应要求
三靶磁控溅射机 1台 【中科德胜】 【沈阳国顺】 【沈阳科晶 】 详情请进入系统查看
"三靶磁控溅射机"技术要求
序号 技术要求内容 评分等级 是否需要附件说明
1 溅射室极限真空度不大于6.6x10-6 Pa,真空系统采用涡轮分子泵(分子泵抽速 685L/s,转速49000rpm误差±2%,集成型驱动电子设备 TC 400,集成型高效冷却,适用于极高真空内高要求应用的法兰 DN 160 CF-F,压缩比大于1*10 11,最高启动压强11mbar,极限压力小于1*10-7hPa,启动时间2min)和机械泵(机械泵抽速4L/S)组合,配套气动插板阀,气缸等;系统真空检漏漏率不大于5.0x10-7Pa.L/S;溅射室20分钟可达到6.6x10-4 Pa;系统停泵关机12小时后真空度:不大于5Pa 非常重要
2 配有2台500W全自动匹配射频电源和1台数字式500W溅射电源(500V/1A)。 非常重要
3 真空室为立式上开盖结构,尺寸Ф300mmx300mm,全不锈钢结构。可内烘烤到100-150℃,接口采用金属垫圈密封或氟橡胶圈密封;腔体打开方式采用上顶开。 非常重要
4 靶材尺寸:Ф50.8mm(2英寸);永磁靶(兼容磁性材料),射频溅射与直流溅射兼容,靶内水冷;靶材在上,向下溅射,共焦磁控溅射靶,各靶可独立/顺次/共溅射工作; 磁控靶RF、DC、MF兼容,可以溅射磁性材料,磁控靶与样品台距离为85-150mm可调。 非常重要
5 配套2英寸2mm厚金靶材1片(纯度99.99%),2英寸2mm厚铂靶材1片(99.99%),2英寸3mm厚银靶材1片(纯度99.99%),2英寸3mm厚钛靶材1片(纯度99.995%),2英寸3mm厚镍靶材1片(纯度99.995%),2英寸3mm厚铬靶材1片(纯度99.95%),2英寸3mm厚铝靶材1片(纯度99.999%),2英寸3mm厚镁靶材1片(纯度99.999%),2英寸3mm厚氧化铟锡靶材(纯度99.99%,绑定2mm铜背靶)1片。 非常重要
6 配套5L石英玻璃真空等离子体清洗机,腔体材质为石英,射频电源功率0-200W可调,射频频率20.00 MHz,射频偏移量小于0.2kHz,真空度1Pa-30Pa,具备双路气体输入,功率10%-100%可调,真空泵抽速4L/s,过程控制采用PLC人机界面自动与手动方式。 非常重要
7 基片Ф100mm样品一次放置1片;基片加热温度:室温—500°C,由热电偶闭环反馈控制,采用控温表控制(控温表:全量程输入、采用PID控制方式的数字显示调节器,备有多种组合使用的输入、输出机器);基片公转由电机驱动,0—20转/分连续可调;样品台可施加脉冲偏压。 重要
8 工作气路配备100sccm、20sccm质量流量控制器、气动隔膜阀、管路、接头等,共3路;气路阀门采用进口气动隔膜阀。 重要
9 溅射室采用真空规管全量程真空规进行测量,真空硅管测量范围5×10-10 mbar-大气压,在测量范围10-8 mbar 至 10-2 mbar过程压力范围内 5% 的优良可重复性,备有图形显示屏和现场总线接口,高真空皮拉尼自动调节,RoHS 合规,低真空和超高真空范围内的一般真空测量和控制,采用氧化钇铱丝。 非常重要
10 采用PLC+触摸屏自动控制方式 重要
11 不锈钢水泵循环水冷却器,制冷量3kw,配有空气过滤网,有过温、过压保护功能。 重要



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