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中山大学电子与信息工程学院电子束蒸发设备采购项目-大额快速采购

基本信息

项目编号 中大招(货)[2018]604号
项目名称 中山大学电子与信息工程学院电子束蒸发设备采购项目
项目类型 货物采购 申购主题 电子束蒸发设备 采购单位 中山大学
项目预算 *** 采购开始时间 2018-11-30 19:41  采购结束时间 2018-12-12 09:00  是否送货
期望收货时间 合同签订后60天交货 经办人 郑老师 经办人电话 020-84115085-807
送货地址 东校园光电国重室大楼6楼
备注 1、国内供货请报含税人民币价;境外供货(进口)请报免税人民币价或外币价,报免税人民币价的公司必须有境外人民币收款账户。2、进口货物中如有国内供货部分,供应商在报价时应分别报价,境外供货部分、国内供货部分的币种选择见第1条,并分别签订进口货物购销协议和国内采购合同。 3、 该项目对应的付款方式必须严格按学校合同范本执行;下载地址:http://www.wisdombidding.com:8089/attachment/template/ZSU148/htmb.zip

设备列表

采购设备 数量 参考品牌 详细响应要求
电子束蒸发设备 1台 详情请进入系统查看
"电子束蒸发设备"技术要求
序号 技术要求内容 评分等级 是否需要附件说明
1 极限真空度:≤1.3× 10-4Pa 非常重要
2 抽真空时间:在10分钟内真空度由大气状态达到<1.0 × 10-3Pa,45分钟内真空度达到<3.0 × 10-4Pa; 非常重要
3 衬底尺寸:2英寸基板,可扩容到4英寸 重要
4 坩埚容量≤3cc,电子枪放置坩埚的数量≥4个,放置坩埚的位置的尺寸:上直径不超过22mm,下直径不超过18mm,高度不超过11mm 非常重要
5 膜厚均匀性:2英寸wafer,2000Å Al≤±5%以下(片内、片间、炉间均需达到) 非常重要
6 高真空抽气泵采用冷泵,抽速大于740L/sec 非常重要
7 电子枪最大输出功率5KVA,加速电压-4kv至-10kv,连续可调 重要
8 膜厚探测精度高于0.05Å(5MHz) 重要
9 单次抽真空蒸镀实验,能同时完成热蒸发蒸镀及电子束蒸镀,且互不影响,即热蒸发的金属不能蒸镀到电子束蒸镀的坩埚上,电子束蒸镀的金属也不能蒸镀到热蒸发的金属上 非常重要
10 热蒸发电源:0-10V AC,电流最大150A 重要
11 真空室腔体采用sus304不锈钢并配观察窗 重要
12 配置清单: 用于Ti、Al、Au、Ni、Cr、Pd、Au、Ag、Mo、Pt等金属薄膜的电子束蒸镀设备。由下列部件组成: 1. 真空蒸镀设备一台; 2. 电子束蒸发源(包含4个或以上坩埚)及电源系统一套; 3. 热蒸发系统及电源系统一套; 4. 高低真空系统一套; 5. 膜厚测试系统(包含膜厚仪、膜厚探测器等)1套; 6. 真空测试系统:高低真空测试各一套 7. 蒸发挡板一套; 8. 冷却水系统一套; 9. 样品载盘一套; 重要



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