| 采购类型 | |||
| 项目编号 | 中大招（货）[2020]433号 | ||
| 项目名称 | 中山大学电子与信息工程学院高精密晶圆切割机采购项目 | ||
| 申购主题 | 高精密晶圆切割机采购 | ||
| 项目类型 | 货物采购 | 项目预算 | *** |
| 最高限价（元） | |||
| 采购开始时间 | 2020-09-06 17:49 | 采购结束时间 | 2020-09-21 09:00 |
| 采购单位 | 中山大学 | ||
| 经办人 | 郑老师 | 经办人电话 | 020-84115085-807 |
| 期望收货时间 | 合同签订后30天交货 | ||
| 是否送货 | 是 | 送货地址 | 广州市番禺区外环西路132号中山大学纳米楼425 |
| 电子签章 | 无需使用 | ||
| 备注 | 1、国内供货请报含税人民币价；境外供货（进口）请报免税人民币价或外币价，报免税人民币价的公司必须有境外人民币收款账户。 2、进口货物中如有国内供货部分，供应商在报价时应分别报价，境外供货部分、国内供货部分的币种选择见第1条，并分别签订进口货物购销协议和国内采购合同。 3、本项目学校不收取任何费用。 | ||
| 1采购设备 | 高精密晶圆切割机采购 |
| 数量 | 1台 |
| 参考品牌 |
| 序号 | 技术要求内容 | 评分等级 | 是否需要附件说明 |
|---|---|---|---|
| 1 | 切片系统 切割晶棒最大直径：≤150mm | 非常重要 | 否 |
| 2 | 切片系统 切割进给速度：满足1～99mm/min | 重要 | 否 |
| 3 | 切片系统 切割返回速度：满足1～999mm/min | 重要 | 否 |
| 4 | 切片系统 送料进给步距偏差：±0.007mm | 非常重要 | 否 |
| 5 | 切片系统 切割方式：内圆切割 | 重要 | 否 |
| 6 | 切片系统 晶向调解：水平方向 （X）±7°（最小分度2′）；垂直方向 （Y）±7°（最小分度2′） | 重要 | 否 |
| 7 | 超精密高速主轴系统刀环腔体最大深度：＜65 mm（不锈钢）； | 重要 | 否 |
| 8 | 超精密高速主轴系统主轴转速： 1150-1420r/min | 重要 | 否 |
| 9 | 超精密高速主轴系统 主轴制动时间：≤75s | 重要 | 否 |
| 10 | 精密切割运动系统 切割晶棒最大长度：＜400mm | 重要 | 否 |
| 11 | 精密切割运动系统 切割进给速度范围： 满足0.2-99mm/min | 重要 | 否 |
| 12 | 精密切割运动系统 切割返回速度： 满足1～1000mm/min | 重要 | 否 |
| 13 | 精密切割运动系统 送料进给步距偏差：±0.007mm（按1mm当量进给） | 非常重要 | 否 |
| 14 | 精密切割运动系统 片厚设定范围： 0.001～68.000mm | 重要 | 否 |
| 15 | 精密切割运动系统 片厚设定分辨率： 0.001mm | 重要 | 否 |
| 16 | 精密切割运动系统 晶向调节：水平方向(X)±7°（分辨率2′） 垂直方向(Y)±7°（分辨率2′） | 重要 | 否 |
| 17 | 旋转夹具：可沿晶棒轴向方向旋转90°，可粘晶棒直径为50mm-105mm（晶棒直径大于68 mm时，需掉头切割） | 非常重要 | 是 |
| 18 | 包含锯片两片：小于等于690×235×0.15mm | 重要 | 否 |
| 19 | 主轴、丝杠、导轨主机核心部件保修2年 | 重要 | 否 |
| 序号 | 要求名称 | 条件类型 | 要求内容 | 是否需要附件说明 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | 产品销售渠道（要求上传“制造厂商出具的授权函”） | 评分性参数 |
厂家（生产商）直接销售（出具厂家声明格式自拟） 厂家（生产商）长期授权销售（授权书中连续有效期不少于一年） 其他授权销售方式 |
是 |
| 2 | 合同履约 | 评分性参数 |
该项目必须严格按学校合同范本执行；下载地址：http://www.wisdombidding.com:8089/attachment/template/ZSU148/htmb.zip |
否 |
| 3 | 免费保修年限 | 评分性参数 |
4年及以上 3年 2年 1年 |
是 |
| 序号 | 要求名称 | 要求内容 | 是否需要附件说明 |
|---|---|---|---|
| 1 | 第2条资质参数 | {"paramContentList":[{"key":"填写并按要求上传“廉洁承诺书”（需签字并盖公盖章）","value":0,"choose":false}]} | 是 |
| 2 | 第3条资质参数 | {"paramContentList":[{"key":"填写并要求上传“法定代表人授权书”（需按授权书要求签字并加盖公章）","value":0,"choose":false}]} | 是 |
| 3 | 第1条资质参数 | {"paramContentList":[{"key":"上传营业执照(副本原件扫描件)","value":0,"choose":false}]} | 是 |
