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中山大学材料科学与工程学院高真空镀膜仪采购项目-大额快速采购

基本信息

项目编号 中大招(货)[2018]483号
项目名称 中山大学材料科学与工程学院高真空镀膜仪采购项目
项目类型 货物采购 申购主题 高真空镀膜仪 采购单位 中山大学
项目预算 *** 采购开始时间 2018-11-02 17:51  采购结束时间 2018-11-12 09:00  是否送货
期望收货时间 合同签订后60天交货 经办人 刘老师 经办人电话 020-84115080
送货地址 中山大学东校区资讯管理学院楼402
备注 1、国内供货请报含税人民币价;境外供货(进口)请报免税人民币价或外币价,报免税人民币价的公司必须有境外人民币收款账户。2、进口货物中如有国内供货部分,供应商在报价时应分别报价,境外供货部分、国内供货部分的币种选择见第1条,并分别签订进口货物购销协议和国内采购合同。

设备列表

采购设备 数量 参考品牌 详细响应要求
高真空镀膜仪 1台 【Angstrom Engineering】 【科特莱斯科】 详情请进入系统查看
"高真空镀膜仪"技术要求
序号 技术要求内容 评分等级 是否需要附件说明
1 系统设置和控制系统: 1.1基于PLC控制界面的windows 10操作系统,通过PC进行设置和控制; 1.2设有手动和自动两种镀膜操作模式; 1.3系统集成有安全互锁机构和报警装置; 1.4一体化、紧凑化设计,可独立使用也可与手套箱集成后使用; 1.5不同账户的安全模式; 1.6 占地面积小于1.2m2; 1.7配有3色灯信标提供系统状态的可视指示; 重要
2 蒸镀腔室: 2.1矩形蒸镀腔室,尺寸不小于400 x 400 x 500 mm,并集成电控柜; 2.2前后开门,前门为滑门,后门为铰链式结构,带有安全互锁并带有手动锁死装置; 2.3腔室抛光处理并安装有可拆卸式隔离墙装置; 2.4后门带有观察窗,炮筒式设计结构,高度与样品台等高,并带有可拆卸式保护装置。 重要
3 真空系统: 3.1前级机械泵,抽速不小于10cfm,原厂生产,并配有防返油冷阱和油雾过滤器; 3.2 主泵分子泵,抽速不小于685L/s,配全量程真空规,测量范围大气压至3.75x⁓10-9torr,带有计算机控制显示功能,能实现自动抽真空,自动补气;真空系统的分子泵带有自动充气功能,可防止意外情况发生,保护分子泵及整个系统,遇到意外情况可以使高速运转的分子泵在3-5分钟内停下来; 3.3极限真空度:系统洁净、空置时优于到5 x 10-7 Torr ;高纯氮气气氛下20分钟内达到≤ 2 x 10-6 Torr; 非常重要
4 蒸发源的设计和安装: 4.1系统安装有2个热阻蒸发源、2个温控型蒸发源;热阻源的设计包括功率配置和与样品台的距离能够满足常规电极材料Au, Ag, Al, Cu, Ba, Ca以及LiF, MoO3,CsF,V2O5,WO3的有效均匀蒸镀。 4.2蒸发速率自动控制和手动控制同时具备,控制精度:0.01 Å/s;单一蒸发和共蒸发沉积薄膜误差小于5%。 4.3可以实现1个热阻和1个热阻、1个热阻和1个有机源间的共蒸 4.4配有3个蒸发源电源,蒸发源电源功率不小于2.5 kW; 4.5温控型蒸发源的温控范围不小于0-1500 oC,控温精度在± 2 oC之内,并能实现自动温度控制蒸镀功能; 4.6蒸发源与样品台的距离在300 -400 mm之间; 4.7蒸发源独立封闭设计,蒸发源之间有隔离装置,有效防止交叉污染; 4.8安装有4个独立的气动蒸发源挡板,自动控制; 4.9安装有1个开合式气动样品台挡板,自动控制; 非常重要
5 样品台的设计: 5.1可以固定或安装直径≤150 mm或6"的样品; 5.2样品台带有可以固定安装样品的装置; 5.3样品台带有水冷功能; 5.4样品台带有旋转功能,可调节范围0-40 RPM; 重要
6 镀膜控制装置: 镀膜操作分手动和自动两种模式,能预设参数,并能将相关操作进行储存,方便以后查询和调用,也可以导到电脑中进行保存。 6.1带有1套工作站(配置不低于I5-6500,8G内存、1T硬盘、DVD光驱、23寸显示器),PLC与镀膜软件控制系统的Windows 10 PC相结合。显示器集成、安装在手套箱外侧; 6.2安装有2个QCM镀膜速率检测探头,带有水冷功能,可实现手动和自动控制; 6.3镀膜控制器,可多元化设计的共蒸功能; 6.4 PC控制的镀膜控制软件及控制卡;镀膜速率的理论精度≥0.01 Å/s,膜厚厚度分辨率可达0.01 Å,薄膜不均匀性≤5% 薄膜沉积速率稳定性≥1%; 6.5通过PC进行控制,全PC控制和设置模式; 6.6 可以执行完整的沉积循环 - 腔室抽真空,单层或多层沉积,腔室破真空 - 单击“开始”按钮,一键完成; 6.7 可提供远程诊断和服务; 6.8 程序全自动控制,确保薄膜的稳定性及可重复性,可实现手动干预; 6.9 四级用户密码,不同的级别不同的权限,安全账户管理,保护设备; 非常重要



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