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中山大学材料学院热蒸发镀膜机采购项目

基本信息

项目编号 中大招(货)[2019]041号
项目名称 中山大学材料学院热蒸发镀膜机采购项目
项目类型 货物采购 申购主题 热蒸发镀膜机 采购单位 中山大学
项目预算 *** 采购开始时间 2019-04-28 23:27  采购结束时间 2019-05-09 09:00  是否送货
期望收货时间 合同签订后80天交货 经办人 李老师 经办人电话 020-84115084-811
送货地址 广州市番禺区大学城中山大学东校区格致堂
备注 1、国内供货请报含税人民币价;境外供货(进口)请报免税人民币价或外币价,报免税人民币价的公司必须有境外人民币收款账户。 2、进口货物中如有国内供货部分,供应商在报价时应分别报价,境外供货部分、国内供货部分的币种选择见第1条,并分别签订进口货物购销协议和国内采购合同。 3、本项目学校不收取任何费用。

设备列表

采购设备 数量 参考品牌 详细响应要求
热蒸发镀膜机 1台 详情请进入系统查看
"热蒸发镀膜机"技术要求
序号 技术要求内容 评分等级 是否需要附件说明
1 样品台:配水冷,可放置尺寸100*100mm掩模版,配备气动磁耦合样品架挡板。 重要
2 样品台安装步进电机,可旋转特定角度,且转速0-30转/分连续可调; 非常重要
3 样品台可升降(升降幅度10-20 cm)。 非常重要
4 分子泵转速≥27000转/分,抽速≥1200 L/S,启动时间<7分钟。 非常重要
5 腔体极限真空4*10-5Pa,抽速40min<5*10-4Pa;系统停泵关机12小时后,真空度<2Pa。 非常重要
6 膜厚及均一性:100nm≤±5%。 重要
7 金属蒸发位:四个,配水冷,电极间距70 mm; 重要
8 两套金属蒸发电源,可同时使用蒸镀两个蒸发位。 重要
9 控制方式:PLC+触摸屏,接械泵预抽阀、前级阀、插板阀等在触摸屏操作控制。 重要
10 腔体:尺寸<500*500*550mm,配备侧滑式前门和折页式后门,方便安装于手套箱;内壁安装不锈钢屏蔽版,方便拆卸清洗,腔体预留两个接口便于通辅助气体。 重要



采购时间已结束!
欢迎供应商注册、投标,如有疑问请联系技术支持qq:1933416688

1、注册审核时间为(工作日8:30 - 17:30),一般为当个工作日。
2、缴费确认时间(工作日8:30 - 17:30):
a、对公转账一般到账时间需要四个小时,缴费确认需要四个小时以上,节假日期间请使用微信支付
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